Fotolitografi
Fotolitografi, bir fotomaske kullanılarak silikon devre levhası üzerinde kaplı olan fotorezistin şekillendirilmesi işlemidir.[1] Özellikle mikroçip çekirdekleri ile cep telefonu parçalarının üretiminde kullanılmaktadır.
365 nm ultraviyole ışık kullanan bir silikon devre levhası
Kaynakça
- "Fotolitografi". Boğaziçi Üniversitesi. 15 Ocak 2017 tarihinde kaynağından arşivlendi. Erişim tarihi: 1 Ocak 2017.
Dış bağlantılar
- BYU Photolithography Resources
- Semiconductor Lithography15 Ocak 2017 tarihinde Wayback Machine sitesinde arşivlendi. — Overview of lithography
- Optical Lithography Introduction27 Kasım 2005 tarihinde Wayback Machine sitesinde arşivlendi. — IBM site with lithography-related articles
- Immersion Lithography Article21 Mart 2006 tarihinde Wayback Machine sitesinde arşivlendi. — Shows how depth-of-focus is increased with immersion lithography
This article is issued from Wikipedia. The text is licensed under Creative Commons - Attribution - Sharealike. Additional terms may apply for the media files.