İkincil iyon kütle spektrometrisi

İkincil iyon kütle spektrometrisi (Secondary-ion mass spectrometry-SIMS ), numunenin yüzeyini odaklanmış bir birincil iyon ışınıyla püskürterek ve ortaya çıkan ikincil iyonları toplayıp analiz ederek katı yüzeylerin ve ince filmlerin bileşimini analiz etmek için kullanılan bir tekniktir. İkincil iyonların kütle/yük oranları bir kütle spektrometresi ile ölçülürek yüzeyin temel, izotopik veya moleküler bileşimini 1 ila 2 nm derinliğe kadar belirlenebilir. SIMS, ppm'den ppb'ye kadar değişen temel algılama sınırlarıyla en hassas yüzey analizi tekniğidir.İkincil iyon kütle spektrometrisi (Secondary-ion mass spectrometry-SIMS ), numunenin yüzeyini odaklanmış bir birincil iyon ışınıyla püskürterek ve ortaya çıkan ikincil iyonları toplayıp analiz ederek katı yüzeylerin ve ince filmlerin bileşimini analiz etmek için kullanılan bir tekniktir. İkincil iyonların kütle/yük oranları bir kütle spektrometresi ile ölçülürek yüzeyin temel, izotopik veya moleküler bileşimini 1 ila 2 nm derinliğe kadar belirlenebilir. SIMS, ppm'den ppb'ye kadar değişen temel algılama sınırlarıyla en hassas yüzey analizi tekniğidir.

Eski manyetik sektör SIMS, model IMS 3f, yerini 4f, 5f, 6f, 7f ve en son olarak, 2013 yılında CAMECA üreticisi tarafından piyasaya sürülen 7f-Auto modellerine bıraktı.

Kaynakça

    Bibliyografi
    • Benninghoven, A., Rüdenauer, F. G., Werner, H. W., "Secondary Ion Mass Spectrometry: Basic Concepts, Instrumental Aspects, Applications, and Trends", Wiley, New York, 1987 (1227 pages) 0-471-51945-6
    • Vickerman, J. C., Brown, A., Reed, N. M., "Secondary Ion Mass Spectrometry: Principles and Applications", Clarendon Press, Oxford, 1989 (341 pages) 0-19-855625-X
    • Wilson, R. G., Stevie, F. A., Magee, C. W., "Secondary Ion Mass Spectrometry: A Practical Handbook for Depth Profiling and Bulk Impurity Analysis", John Wiley & Sons, New York, 1989 0-471-51945-6
    • Vickerman, J. C., Briggs, D., "ToF-SIMS: Surface Analysis by Mass Spectrometry", IM Publications, Chichester UK and SurfaceSpectra, Manchester UK, 2001 (789 pages) 1-901019-03-9
    • Bubert, H., Jenett, H., "Surface and Thin Film Analysis; A compendium of Principles, Instrumentation, and Applications", p. 86-121, Wiley-VCH, Weinheim, Germany 2002 3-527-30458-4

    Dış bağlantılar
    This article is issued from Wikipedia. The text is licensed under Creative Commons - Attribution - Sharealike. Additional terms may apply for the media files.